ステッパーに使われているのは、乱暴な言い方をすれば、収差補正を可能な限り小さくする為に、面構成が多いレンズでしかありません。
面構成は100面単位であると聞いていますが、それでも、中心と周辺ではまったく同じパターンの焼きこみは出来ません。
CPUの場合、ウェハーの中心部は高クロックに、周辺に行くに従い低クロック向けに割り振られます。
これは回路がボケて焼かれる為、高クロックでの動作が不安定になる為です。

CPUで言うあたりロットとは、低クロック向けの生産量が追いつかないときに、高クロック向けの部分を使って製品化する為に起きます。
CANONではこの周辺が甘くなる事を嫌い、真中の綺麗な部分だけで焼きこみを行う為、複数回露光としています。
CANONとNikonのステッパーレンズの性能差という事はあるかもしれませんが、少なくとも事業として行なっているステッパーの性能では極端な性能差が有るわけでもなく....
勿論焼き込みさえ出来ていれば良いということであれば、1回露光の可能性はあるでしょうがね。
なので、、32mm角で焼き込めるステッパーがあるからと32mmを根拠にするのは....と言う話です。