ファインプロセスのCPU、たとえば65nmならレチクル周辺の甘さが気になるでしょうが
APC-C 1000万画素のイメージセンサだと0.18umぐらいのプロセスルールじゃないかと思いますが
そのくらいのルールでも特性に影響するほどの問題ですかねぇ。
（もちろん、65nmだの90nmだのが焼けるステッパを使っての話ですが）

イメージセンサだと、ほとんど単純な繰り返しパターンですから、OPCなどの
超解像技術も使いやすいですし、作る気になればいくらでも・・・・
要はやる気の問題（市場規模とイニシャルコストのバランス）の問題じゃないですかねぇ。