分かりやすく説明すると、1回の露光による歩留まりが80%とするとそれを2回
繰り返すと0.8×0.8=0.64でざっと6割程度に歩留まりが落ちます。もちろん、
それから後の工程の歩留まりも乗算されるので、トータル半分近くまで落ちる
ことになるでしょう。半導体のコスト削減には、プロセスルールの微細化の
他に露光回数を減らす為に露光に使用するマスクパターンを減らすってこと
もやっているんですよ。