ところでひとつお聞きしたいのですが、
キヤノン製のステッパーで、50mm×50mmが露光できるというのは、いったいどの機種のことを言っているのでしょうか。

私が知る限り、50mm×50mmが露光できるのはFPA-5500シリーズくらいしか無いのですが、これってi線ステッパーで、しかも解像度が一番低い機種ですよね?

http://cweb.canon.jp/indtech/semicon/fpa/5500ix-sp.html

仕様を見ましたが、解像度は0.5μm、つまりプロセスルールは500nmまでしか対応できないようです。キヤノンのフルサイズ撮像素子というのはこんなプロセスルールで作られているというわけですか?